RMC系列匹配器-四川英杰电气股份有限公司手机版

产品简介

适用于光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等领域。适用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD)、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等工艺。

详细介绍

● 全数字控制，匹配精度高，匹配时间短
● 采用真空电容，可靠性高，使用寿命长
● 结构紧凑，体积小，安装便捷
● 超宽匹配范围，可定制适配任意负载
● 具有手动/自动匹配功能
● 具有保持和预置设定功能
● 具有通讯功能，可独立连接上位机实时显示负载状态

输入	控制电压：AC230V±10% 或 DC24V	输入接口：N型、HN、7/16
	频率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz	传输功率：1.5kW～6kW
	射频输出电压：4000Vpeak	射频输出电流：25Arms～120Arms
输出	输出接口：7/16、B20N、铜排, 其他规格可定制
性能指标	匹配时间：A系：端对端＜5s ,预设点到匹配点 1s~3s C系：端对端＜3s ,预设点到匹配点 0.3s~2s	驻波：A系：＜1.2 C系：＜1.1
	阻抗实部：1Ω～200Ω	阻抗虚部：+200j～-200j
	负载类型：IPC 或CCP	外形尺寸：根据客户要求定制
注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。