RHH系列射频电源-四川英杰电气股份有限公司手机版

产品简介

RHH系列射频电源依靠成熟的射频发生技术为基础，为客户提供更大的功率、精度更高、响应快速的射频电源。具有相位可设、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。

详细介绍

● 半砖和机架式安装方式

● 采用全数字控制，具有便捷和丰富的操作菜单

● 频率调谐、脉冲和脉冲同步功能

● 具备CEX相位同步功能

● 完善保护功能

输入	输入电压：AC220V±10% 3ΦAC380V±5%（特殊规格可定制）
输入	输入频率：47~63Hz
输出	输出频率： 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	调谐范围：±5%
	输出功率：1.5~5kW
	输出功率调节范围：1~99%
	输出阻抗：50Ω+j0
	输出接口：N型
	输出模式：连续、脉冲
	脉冲频率：100Hz~100kHz
	占空比： 5~95%
性能指标	功率因数：0.98
	频率稳定精度：±0.005%
	效率：75%（额定输出时）
	谐波：＜-45dBc
	杂散：＜-50dBc
	外部控制接口：模拟量、通讯、同步
	通信方式：标配RS485通讯接口；可选Ether CAT、工业以太网等
注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。