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Vac Coat的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。Vac Coat的真空镀膜机系统已通过遍布的分销商销往许多大学和研究中心,并得到了很好的参考和反馈。
1、DSR1
仪器描述:
该产品为台式磁控溅射镀膜机,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
产品特点:
• 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速
• 通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示300个历史涂层信息。
• 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)
• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。
• 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
• 符合CE标准
产品参数:
• 2英寸磁控管阴极
• 两级直驱4m3/h旋片机械泵
• Pyrex样品仓:外径170mm,高140mm,
• 尺寸:50(W) x 37(D) × 45(H) Cm
• 运输重量(包括真空泵):42kg
• 电源:220V-240V,50 / 60HZ-10A
• 极限真空度:小于40 mTorr
• 电子控制快门
• 电子控制真空阀
2、DCR
仪器描述:
DCR是一台结构紧凑的台式镀碳仪。可用于扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和能谱分析(EDX)制样。
产品特点:
• 可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少
• 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速;真空度、电流、厚度等镀膜参数可通过触摸屏中的数据或曲线直观监测;历史页面可显示300个历史涂层信息。
• 可联网更新用户友好软件
• 可记录和绘制涂层参数图表
• 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)
• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。
• 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
• 符合CE标准
产品参数:
1、真空泵:二极直驱旋片机械泵(4m3/h)
2、极限真空度:小于50 mTorr
3、Pyrex 样品仓:外径170mm,140mm,
4、0-25A脉冲直流开关电源
5、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H x W x D)
6、电源:220V-240V,50 / 60HZ-10A
7、电子控制快门
8、精密真空压力控制阀
9、USB数据传输端口
10、运输重量:46kg
3、DSCR
仪器描述:
DSCR型台式多功能镀膜仪,是一台紧凑型涂布系统,集离子溅射系统和镀碳系统于一体。该系统能够在不导电或导电性差的样品上溅射金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)和金/钯(Au/Pd)等贵金属,并且可以在样品上镀上碳膜。
DSCR是一台多功能扫描电子显微镜制样设备。全自动操作选项使得即使是初学者,也可以轻松使用系统,形象的用户友好软件,简化了对沉积信息的感知。
产品特点:
• 精密可复制涂层:可重复膜厚沉积
• 高分辨率精细涂层(金颗粒可达2nm)
• 低压溅射
• 无需冷却系统
• 可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少可使用双碳纤维蒸镀,用于厚层沉积
• 易于操作:7’’彩色触摸屏直观控制涂布过程,数据输入简单快速
• 用户友好的全自动及半自动控制软件
• 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)
• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。
• 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
• 符合CE标准
产品参数:
1、真空泵:二极直驱旋转机械泵(4m3/h)
2、Pyrex 样品仓:外径170mm,140mm,
3、仪器尺寸:45(H)x50(W)37×(D)Cm
4、2英寸磁控管阴极
5、极限真空度:小于50 mTorr
6、电子控制快门
7、自动控制泄露阀
8、电源:220V-240V, 50/60HZ- 10A
9、80W直流开关电源
10、运输重量:42kg
4、DST1-170
产品描述:
DST1-170是一台结构紧凑的台式磁控离子溅射仪。适用于金属材料溅射,包括惰性金属以及氧化性金属,DST1-170配有直径为2英寸的磁控管阴极。在较短时间内即可形成晶粒尺寸均匀的薄膜。
DST1-170高真空溅射仪,可提供高质量的均匀薄膜,具有较细的晶粒尺寸,十分适用于样品的高分辨和高品质表征,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD,也可应用于科研和各种薄膜的应用研究中,如:纳米和微电子、太阳能电池应用、光学元件涂层合薄膜传感器等。
产品特点:
• 高真空涡轮泵90 L/S(Leybold)+二级旋片式真空泵的前级泵,为仪器提供了洁净的高真空,减少了污染。
• 涂层速率可控,可获得更细的晶粒结构
• 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射
• 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速;真空度、电流、厚度等镀膜参数可通过触摸屏中的数据或曲线直观监测;历史页面可显示300个历史涂层信息。
• 触摸屏直观地控制涂布过程,数据输入简单快速
• 可通过网络更新的用户友好软件
• 可记录和绘制涂层参数图
• 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)
• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。
• 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
• 符合CE标准
产品参数:
1、高真空涡轮泵90 L/S(Leybold)
2、二极直驱旋片机械泵(4m3/h)
3、极限真空:小于5x10-6 Torr
4、独立于压力自动控制溅射功率
5、全量程真空计(Leybold)
6、ISO-KF 63蝶形阀
7、80 W直流电源
8、电子控制快门
9、电控氩气泄漏阀
10、设施:220V-240V,50/60HZ-16A
11、运输重量:36kg
5、DCT
产品描述:
DCR是一台装有涡轮泵的碳镀仪,可提供细粒度均匀的高质量碳膜,适用于需要高分辨率和高质量表征的样品,尤其适合FE-SEM,EDS/WDS,TEM,EBSD和薄膜应用研究等。
产品特点:
• 可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少
• 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速;真空度、电流、厚度等镀膜参数可通过触摸屏中的数据或曲线直观监测;历史页面可显示300个历史涂层信息。
• 可联网更新用户友好软件
• 可记录和绘制涂层参数图表
• 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)
• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果
• 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
• 可选用碳棒蒸发源及适配大电流电源
• 符合CE标准
产品参数:
1、高真空涡轮分子泵90 l/s Leybold
2、二级旋片式真空泵作为分子泵前级泵
3、全量程真空计
4、真空仓:外径170mm,140mm
5、0-25A脉冲直流开关电源
6、极限真空度:小于50×10-6 Torr
7、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H × W × D)
8、电源:220V-240V,50 / 60HZ-10A
9、用于精确控制真空压力的精密计量阀
10、电子控制快门
11、涂层参数实时图
12、USB数据传输端口
13、运输重量:46kg
6、DSCT
产品描述:
DSCT是一台多功能的涂布系统,集溅射镀膜机和纤维碳镀膜机于一体:在一台仪器中具有可互换的磁头。
DSCT高真空镀膜机,可提供晶粒尺寸很细的高质量均匀薄膜,适用于需要高分辨率和高质量表征的样品,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。
DSCT具有2''磁控管阴极,80w直流开关电源和碳蒸发大电流电源,也可用于科研及不同薄膜的应用研究中。
产品特点:
• 高真空涡轮泵90 L/S(Leybold)+二级旋片式真空泵的前级泵,为仪器提供了洁净的高真空,减少了污染。
• 涂层速率可控,可获得更细的晶粒结构
• 可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少
• 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射
• 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速;真空度、电流、厚度等镀膜参数可通过触摸屏中的数据或曲线直观监测;历史页面可显示300个历史涂层信息。
• 触摸屏直观地控制涂布过程,数据输入简单快速
• 可通过网络更新的用户友好软件
• 可记录和绘制涂层参数图
• 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)
• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。
• 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
• 符合CE标准
产品参数:
1、极限真空:小于5×10-6 Torr
2、独立于压力自动控制溅射速率
3、用于精确控制真空压力的精密质量流量计(MFC)
4、可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
5、设施:220V-240V,50/60HZ-16A
6、运输重量:42kg
整体型号的选型: