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EF550A-M50/-M58KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机

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轮廓形状测定机EF550A-M50/EF550A--M58产品参数

测定精度	Z: 土(2.5+05 × IHI) um以下 H:变位(mm) X: 士(2.5+0.02L) um以下 L:测定长度(mm)
分解能	X:0.1um Z:0.25?m
取样数/最小间隔	Max 64,000点/Min 0.5um
测定范围	Z:30mm X:50mm
表示倍率	纵(Z)、横(X):1 ~2,000倍
直线度精度	1.0um/100mm

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