沈阳科晶 GSL-1100X-SPC-16型 单靶等离子溅射仪

仪器概述：

    GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜。

主要技术特点：

  1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

  2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得良好的镀膜效果。

  3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

  4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

  5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

  6、已通过CE认证。

主要技术参数：