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适用范围
稀释气入口数 | 1 | 线 性 | 1%F.S |
标气入口数 | 3(可扩展) | 输入气体压力 | (100~200)kpa |
稀释气质量流量控制器 | (0~10)L/min(可扩展) | 响应时间(T95) | ≤60S |
标气质量流量控制器1 | (0~10)L/min(可扩展) | 稀释率(标准) | 300:1(可扩展) |
标气质量流量控制器2 | (0~10)L/min(可扩展) | 输出通道 | 2 |
流量准确度 | ±1.0%F.S | 工作环境温度 | (0-40)℃ |
流量重复度 | 0.5%F.S | 重量:7kg 尺寸:(330*240*300)mm |