硅微通道芯片

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2023-04-25 16:47:59
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苏州汶颢微流控技术股份有限公司

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产品简介

硅微通道芯片,是半导体材质芯片,和传统的IC工艺能很好的兼容,有利于多功能芯片的集成,尤其是硅基芯片可以很好的引入电学控制单元。我们为客户提供不同的芯片订制服务,以满足不同的客户要求。?

详细介绍

硅微通道芯片

硅基微流控芯片

产品简介:

硅微通道芯片,是半导体材质芯片,和传统的IC工艺能很好的兼容,有利于多功能芯片的集成,尤其是硅基芯片可以很好的引入电学控制单元。目前,我公司是通过湿法腐蚀(酸/碱)得到的特异性芯片截面结构,其中酸法腐蚀得到的芯片结构为U型,碱法腐蚀得到的芯片结构为V型。同时,我们为客户提供不同的芯片订制服务,以满足不同的客户要求。

硅片刻蚀工艺:酸法刻蚀、碱法刻蚀效果图

优点:

1. 通道表面结构良好;

2. 易于集成;

3. 半导体硅基材质。

加工规格:

1. 酸/碱法腐蚀硅片宽深比接近2:1;

2. 通道表面粗糙度约为Ra=2um。



标签:   微流控 微流控芯片 微硅通道芯片
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