Form Talysurf系列2
120mm位相光栅干涉粗糙度轮廓仪PGI 400简介
1. 扫描箱
(1) 测量长度： 0.1mm-120mm
(2) 驱动： 可使用操纵杆或计算机驱动
(3) 直线度： 0.06µm +0.0037µm/mm * 水平移动长度(mm)
可选择基准校正
(4) 移动速度： 0.5/1.0/2.5/5.0/10.0mm/秒
2. 机动立柱
(1) 材料： 环氧花岗岩
(2) 扫描箱移动高度： 450mm(标准)
(3) 驱动： 可使用操纵杆或计算机驱动
(4) 垂直移动速度： 0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒
(5) 扫描箱倾斜： ±9º，机动
3. 基架和、基座和防震垫
(1) 工作台材料： 环氧花岗岩
(2) 工作台尺寸： 760×500×120mm
(3) 带气浮防震，台面上有两个T型槽
4. 传感器
(1) 类型： 位相光栅干涉
(2) 测量量程： 4mm (使用60mm长金刚石测杆，同时测量粗糙度和轮廓)
8mm (使用120mm长球形测杆，测量轮廓)
(3) 分辨率： 4mm量程时12.8nm
(4) 量程与分辨率之比： 312,000:1
(5) 测量力： 1mN
