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| 型号 | YSP63FA |
| 模式 | RIE（DP模式选购） |
| 高频输功率 | 600W |
| 反应台尺寸 | W385×D362mm |
| 内腔尺寸 | W395×D378×H45mm（内尺寸） |
| 反应气体 | 2进气系统（氧气、氩气） |
| 反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
| 真空泵 | 旋转式真空泵（约500L/min） |
| 气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
| 外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
