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型号 | PM100 |
等离子发生源 | 低频高电压电源,输出约100W,周波数60KHz、输出电压10kV |
电机构造 | 电容型 2分割 |
气体流量计 | 氧气用、流量30~300mL/min |
真空调整阀门 | 抽真空用,回大气用 |
反应腔尺寸 | 内径100mm×深度约200mm |
外形尺寸(宽×深×高mm) | 310×300×448 |
电源 50/60Hz | AC100V 10A(含真空泵Max7A) |
真空泵接口 | 外径Φ6.35mm(推荐真空泵排气速度30L/min) |
气体接口 | 外径Φ6.35m |