从气体罗茨流量计自身的结构原理来看，转子和测量腔对测量结果精度有很大影响，这主要是因为两个部件的加工精度会影响流量计在装配工作后的整体工作精度。转子加工采用成形铣刀进行加工，但实践证明效果并不理想。采用该方法加工的转子表对称性较差，测量精度受到限制，难以继续改进。技术改进采用加工中心加工，确保转子和测量腔的对称。

除了以上因素，转子动平衡也是一个十分重要的因素。转子加工后会发生失衡。不平衡性主要影响初始流量，从而影响气体罗茨流量计结果的准确性。

同步器加工精度对流量计的影响主要是工作噪声和测量精度。同步器的作用是保证罗茨轮在工作过程中，始终保持一定的间隙，其直径随流量计的直径变化。通常，小直径流量计的间隙保持在0.1mm，大直径为0.4mm。其尺寸直接影响流量计的测量结果。若间隙太大，气体通过间隙时损失将比较大，从而影响计量的准确性。但是，在进行气体计量时，气体中的大量杂质微粒可以通过，而不影响计量工作。在空隙过长时，漏气量相应减少，流量计测量工作的准确度将提高，大颗粒杂质不能通过间隙，容易造成流量表不能正常工作。

标准的选用对气体罗茨流量计测量结果的准确性也有影响。标准部件主要是轴承，通常选用进口轴承。要有效地降低流量计的初始流量，提高测量精度，需打开防尘盖，除去内部润滑脂，在工作时会产生阻力。为延长轴承寿命，在采用流量计时时，采用喷溅润滑方式，轴承可及时散热。

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