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低温等离子分解油雾,废气等污染介质时,等离子体中的高能离子起决定性作用。流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞,将能量转化为基态介质的内能,发生激发,离解,电离等一系列过程是污染介质处于活化状态,污染介质在等离子体的作用下,产生活性自由基,活化后的污染分子经过等离子体定项链化学反应后被脱离。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时。分子链断裂,污染介质分解,并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中,可能由污染介质成分决定发生的各类化学反应,这主要取决于等离子的平均能量,离子密度,气体温度,污染物质介质浓度及共存的介质成分。