一、产品介绍

二、半导体IC／晶圆制造厂烟气排放在线监测技术特点

然而，IC/晶圆制造厂的废气/烟气排放烟囱很多，有酸性排口，碱性排口（NH3）和VOCs排 口，每个Fab厂都有十到几十个烟囱排口，而且酸性气体多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs种类多（非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要对每个烟囱排口进行在线监测，就需要综合考虑国际上*的监测技术和建设经济效益，选择的解决方案。

三、BO-SYS400IC解决方案 

BO-SYS400IC是我司针对上述难点所提供的整体解决方案，满足同时监测全部排口，多种因子，包括了酸性气体、碱性气体和VOCs气体。该方案采用了*的光谱法（UV/IR）监测酸碱气体和气相色谱法（GC-FID）监测VOCs气体。