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用于多型号电真空器件在超高真空、高温条件下的烘烤排气及激活处理
独立六工位，六套烘箱，双真空系统
内真空系统极限真空度≤5×10-7Pa，外真空≤5×10-1Pa
独立烘箱升降系统，行程1000mm
工控机显示工作状态、记录运行参数并储存
带整体铅防护系统，铅推拉门
大流量风机管道装置，用于轰击除气时冷却工件
烘箱温度：600℃
极限真空度：≤5×10-8 Pa
型式：六工位，双真空系统
外真空系统极限真空度：≤5×10-1 Pa
加热有效区域尺寸：≥Φ400×550mm
热态极限真空度：≤2×10-6 Pa（500℃）
