SPIN-1200T匀胶机

匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被广泛使用。
由我司提供的匀胶机,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,相信能满足您多种不同应用要求。





产地：韩国MIDAS公司，
型号：SPIN-1200T


SPIN-1200T
触摸面板控制，各种涂层溶液的紧凑单元，可编程配方管理，操作简单
•匀胶机
•基板尺寸：小于等于4英寸
•转速：300~7000 rpm（空载时），误差小于3%（海外10000 rpm）
•菜单程序：50步，50个配方
•卡盘材料：改性铝、缩醛
•碗尺寸：8英寸
•碗材料：聚丙烯
•尺寸（mm）230（宽）*340（深）*260（高）

应用范围：
可用于光刻胶(PR)，聚酰亚胺(Polyimide)，金属有机物(Metallo-organics)，搀杂剂(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多数的有机溶液、水溶液；

全自动的匀胶及显影工艺必需的全自动Chip生产设备：