一、温湿度测量说明
温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（ Level 3 ）。但是因无尘室多半同时也是环控室，所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和进阶测量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据（单一测数据），适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。
二、温湿度测量测试仪器：
常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一般测量和进阶测量使用仪器的精度相同，温度测量范围是 0-100 ℃ ，精确是 ±0.2 ℃ 。湿度测量范围是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ，精确度是 ±2 ﹪ 。一般测量要求温度之显示值可显示 0.1 ℃ 的变化，湿度的显示值可显示 1 ﹪ 的变化。进阶测量则要求温度之显示值可显示 0.05 ℃ 的变化，湿的显示值可显示 0.1 ﹪ 的变化。检测仪器需校正合格且仍在有效期限内者，于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。
三、温湿度测量测试程序
确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其达到设计要求，为温湿控制提供正确的运转环境，因此系统要先平衡才能测试。列出各种温湿度要求区域，并使系统达到正常运转状况，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转 24 小时以上。测试点数为每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个 Dry Coil 的控制范围要量一点，测量高度为 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。 将温湿度传感器放置同一位置，待稳定后开始记录。