臭氧浓度分析仪由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、输出显示、电路部件构成。
臭氧浓度分析仪使用安全注意事项： 1、受体点或者是人员密集的地方，即臭氧气体能对人员造成威胁的位置，这个的主要目的是保护人员安全。
2、泄漏点或者检测点，就是臭氧气体存在的位置，必须是越靠近越好，因为臭氧的化学性质活波，极易分解。
3、臭氧检测仪安装高度应该低于泄漏点，这是应为臭氧的分子量是比空气要大的，臭氧会往泄漏点下方扩散。
4、如果气体检测仪很长时间未使用（1个星期以上），则开机后让仪器运行一段时间后（10分钟以上），进入设置模式，观察仪器的零点是否稳定为0左右，如果不为零或飘移很大，则需要归零点一次（氧气检测仪为归目标点一次）；
5、仪器检测完后，请等数值降下来后再关掉电源，归零前，也请等数值降下来并且稳定后再进行操作。
臭氧浓度分析仪的检测方法：
1、碘量法
碘量法是的臭氧测定方法，我国和许多国家均把此法作为测定气体臭氧的标准方法，我国建设部发布的《臭氧发生器臭氧浓度、产量、电耗的测量》标准CJ/T30282—94中即规定使用碘量法。其原理为强氧化剂臭氧与水溶液反应生成游离碘，臭氧还原为氧气。
2、比色法
比色法是根据臭氧与不同化学试剂的显色或脱色反应程度来确定臭氧浓度的方法，按比色手段分为人工色样比色与光度计色，此法多用于检测水溶解臭氧浓度。
3、检测管
将臭氧氧化可变化试剂浸渍在载体上，作为反应剂封装在标准内径的玻璃管内做成测管，使用时将检测管两端切断，把抽气器接到检测管出气端吸取定量臭氧气体，臭氧浓度与检测管内反应剂柱变色长度成正比，通过刻度值读取浓度值。德国、日本和我国都生产臭氧检测管，浓度范围分为高(1000ppm)、中(10ppm)、低(3ppm)三种，用于检测空气臭氧浓度，适于现场应用，使用简便，但精度低(为±15%)。