德国PI（Physik Instrumente）精密移台

       德国PI公司是精密运动和定位领域的解决供应商。

PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性、旋转和垂直运动或不同轴的组合。PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

产品系列：

纳米定位压电柔性铰链平台

微型平台

线性平台

线性促动器

旋转台

XY位移平台

六足位移台

快速多通道光子学对准系统

运动控制软件

应用范围：

汽车、科学设备、半导体技术、显微镜、硅光子、医疗技术、材料研究、机械工程、自动化、高能束线设备、增材制造

--------具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器

1.      采用PIOne增量编码器实现直接测量，分辨率为0.5纳米

2.      小位移达1纳米

3.      行程为6.5毫米

4.      负载能力达25牛

5.      可以直接安装在N-565线性定位器上

NEXACT®参考级线性定位器

带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现较长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承，可实现高精度。紧凑、扁平的设计使定位器能轻松实现机械集成。工作所需电压低。

PiezoWalk®技术：高分辨率、低磨损

PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理，PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一个动轮步进。前馈时，促动器被从动轮处物理提升，几乎不会造成任何磨损。在促动器上相对于动轮施加预载可确保步进驱动器自锁。因此，步进驱动器静止状态下将保持位置，关机时可实现机械稳定（无伺服抖动）。静止状态自锁，无能量消耗，无热量产生。

带PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PIOne编码器基于干涉测量原理。其以*的精度直接在运动平台上进行实际位置测量，因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。由于信号周期仅为0.5微米，信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1%。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承，滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。

应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。

德国PI（Physik Instrumente）精密移台 N-765 Z向位

规格参数

主动轴：Z

行程：6.5毫米

系统分辨率: 0.5纳米

集成传感器: PIOne线性编码器：增量，光学，直 接测量

传感器分辨率: 0.5纳米

小位移:1纳米

速度，闭环:2.5毫米/秒

单向重复精度:6纳米

双向重复性:7纳米

Z向运动时X向上的线性串扰:1.8微米

Z向运动时Y向上的线性串扰:2微米

Z向运动时θX向上的转动串扰:25微弧度

Z向运动时θY向上的转动串扰:41微弧度

Z向运动时θZ向上的转动串扰:34微弧度

大负载容量:25牛

电机类型: NEXACT压电陶瓷步进驱动器

驱动力:20牛

保持力（被动）:25牛

工作电压:-10到45伏

工作温度范围: 10至50 °C

质量: 920克

材料: 铝，阳极氧化致黑

电缆长度:3米

连接器: HD Sub-D 15针（公头）

传感器连接器: Sub-D 15（母头）

推荐电控: E-861.1A1

订购信息

N-765·060 精密Z向位移台，行程为6.5毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，

推/拉力为25牛，尺寸为65 X 110x56毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器.