Physik Instrumente（PI）位移台

纳米定位压电弯曲平台

微型舞台

线性平台

线性执行器

旋转台

XY平台

PI的多轴压电挠性位移台允许在多达6个轴上以亚纳米精度进行定位和扫描，包括，倾斜和偏航运动。版本范围从紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。

XYZ扫描仪是定位技术的方位工具。应用包括样品调整，技术，光学计量，光纤定位和光子学以及原子力显微镜。

所有压电纳米定位系统均已在工厂校准，并随测量记录一起提供。

P-733.3 XYZ压电纳米定位器

应用领域

• 扫描显微镜
• 共聚焦显微镜
• 掩膜/晶圆定位
• 表面测量技术
• 纳米压印
• 显微操作
• 图像处理/稳定
• 纳米定位具有很高的平面度和运动平直度

电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

自动配置和快速的组件更换

机械和控制器可以根据需要进行组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

适用于复杂的真空应用

压电系统中使用的所有组件都适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。

PICMA®压电执行器，使用寿命长

获得利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。

平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度

所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时（取决于带宽）主动补偿（主动引导）轴之间的不良串扰。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

应用领域：

• 六脚架支持工业机器人
• 科学仪器
• 半导体技术
• 显微镜检查
• 硅光子学
• 技术
• 材料研究
• 机械工业

• 更多其他产品的型号如下
• Physik Instrumente  M-235.5DG
• Physik Instrumente  FH430A69-05+197
• Physik Instrumente  S-330.2SH
• Physik Instrumente  PI E-727.3SDA
• Physik Instrumente  PI E-727.3SD
• Physik Instrumente  P-561.3CD
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• Physik Instrumente  E-501.00
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• Physik Instrumente  E-873.1AT
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