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·8”-12”晶圆适用
·可处理薄晶圆
·支撑环料篮装卸料
·自动晶圆身份识别
·自动条码标签生产及贴覆
·可进行生产批号控制
·工控机+Windows系统
·SECS/GEM 或简易联网能力
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