详细介绍

精密油冷假负载
Precision Oil-Cooled Dummy Load

为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态，现代等离子体应用需要精确的RF 功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
BIRD 提供超稳定，低VSWR 的，针对发射机输出功率配合BIRD 精密功率传感器进行快速精确测量的负载。当运作在额定区域时，Dummy Load 负载VSWR 的总变化范围能够保持在0.1dB以内。
负载针对不同时间长度校准，重复性且无需预热。这样能够*减小该项校准的误差，控制一个更关键的过程变量稳定。

选型列表

型号	功率等级	频率范围	冷却方式	预设接口	重量（kg）
8890-320	5kW	DC-2.4GHz	230VAC 风扇冷却	QC 型 LC（f）接口	33kg
8921	5kW	DC-1GHz	自然冷却	QC 型 LC（f）接口	57kg
8931-230	10kW	DC-1GHz	230VAC 风扇冷却	QC 型 LC（f）接口	65kg
8921SC13	5kW	DC-28MHz *13.56MHz	自然冷却	QC 型 LC（f）接口	57kg
8931-230SC13	10kW	DC-28MHz *13.56MHz	230VAC 风扇冷却	QC 型 LC（f）接口	65kg
8941-230SC13	15kW	DC-28MHz *13.56MHz	230VAC 风扇冷却	QC 型 DIN（f）接口	107kg

Moduloads 高功率液冷负载

Moduloads High Power Load

模组液冷负载系列是一款集成式水循环冷却负载，需要 115伏或 230 伏的电压输入。模组负载能够有效地将高达 25 至 50kW 功率等级的射频能量耗散，支持频率范围延展至 900MHz。负载芯固定在模组中心。负载模组结构紧凑，提供联锁控制电路提供故障安全保护，可在系统故障发生时保护发射机等重要系统单元。

结构紧凑
一体式水循环模组系统
内置护锁开关，保证 RF 安全环境
地方

选型列表

型号	功率等级	频率范围	接口类型	尺寸 mm	重量
8645B230	25kW	1kHz-900MHz	3-1/8’’ EIA Flg	723x497x528	70kg
8655B230-5	50kW	1kHz-900MHz	3-1/8’’ EIA Flg	1347x497x528	125kg
Dolly 选件 6771-011 25kW 水冷负载无尘室专用推车 6772B011 50kW 水冷负载无尘室专用推车使用前请详细阅读 manual 或在 BSC 指导下使用

产品简介

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Moduloads 高功率液冷负载

Moduloads High Power Load