本产品主要是用于检测晶圆表面的缺陷。是一套实用的晶圆缺陷检测光学系统。无论用户对样品检验有什么具体要求,我们都能提供广范的解决方案来获得快速的结果。 nSpec LS是研发和过程开发的理想系统。它按顺序运行多个扫描。友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力。而且,随着需求的发展,配方保存和修改也是非常方便的。 1. 半自动晶圆缺陷检测功能 ·基板,外延和图案化晶圆 ·透明和不透明的材料 ·在胶片胶带,托盘,凝胶包装或蛋饼形包装上模切 ·光罩 ·样品碎片 2. 系统特征 ·多种分辨率设置,范围从0.25 µm及更高 ·快速扫描 ·可定制的缺陷报告 ·各种样品夹头可满足特定需求 ·对缺陷或感兴趣的特征进行检测和分类的鲁棒分析 ·检查和审查程序 ·多系统同步 ·占地面积小,设施要求zui少 ·机架安装控件 3. 系统参数 重量:318 kg 外观尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm zui小气压:24 in. Hg (70 kPa) 电源:110v/220v, 3.5 amps 光学器件: 照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski) 光源:白光LED(也可选其他) 物镜倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用户可选 工作台: 典型行程:200 mm,X和Y方向 定位:带有闭环编码器的线性伺服电机(分辨率为50 nm) 重复性:+/- 0.5 µm 行程平整度:30 µm
结构:精密地面滚道和交叉滚子轴承
支撑平台:显微镜/重型底座集成到隔离台中
中心负载能力:2.27 kg
重量:11.33 kg
尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
备选功能:
AFM原子力显微镜:可根据要求提供规格
SECS/GEM
透射光
自动传送晶圆片
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