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快速自动晶圆宏观检测仪_nSpec Macro

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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有*的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。

详细信息

1. 产品简介

nSpec Macro是一种快速自动晶圆宏观检测仪,无论您有多特殊的晶圆检查要求,我们都能提供一系列解决方案来让您获得快速的结果。这种紧凑的系统设计用于对200 mm以下的晶圆进行高通量宏观检查。 以毫米为单位,nSpec Macro可以自动检测并量化从50到100微米的众多缺陷,这取决于视场或晶圆尺寸。

nSpec Macro可以照亮样品的整个面,或设置照明角度和/或离散照明矢量。 明场,暗场,正交和可配置的倾斜照明角度与可单独配置的LED,配合使用可调节照明的强度,颜色和位置。
该系统会自动导出CSV文件,并且与SECS / GEM兼容,也可以根据客户要求进行定制。
2. 自动化晶圆处理功能
所有Nanotronicsn Spec Macros都装有满足行业标准要求的晶圆装载机。Nanotronics创造了末端执行器,可将整个单个晶圆和/或带有的晶圆加载进去。每个末端执行器都是根据客户的需求设计的。
3. 控制软件
配方易于配置,并可以根据需要保存。可以按顺序进行多次扫描,并且在照射角度,强度和波长方面具有的灵活性。
4. 系统参数
重量:62kg
尺寸(宽x深x高):67厘米 x 74厘米 x 65厘米
蕞小真空要求:20 in.Hg
电源:110v / 220v,3.5安培
5. 光学特性
暗场照明模式照明角度:0度
倾斜照明模式照明角度:0至80度
明场照明模式照明角度:90度

正交照明模式照明角度:90度(通过镜头)

晶圆缺陷检测光学系统 光学镜头.jpg

6. 晶圆装载机
一次运行1个卡夹:标准H型卡夹
标准晶圆尺寸:50、75、100、150或200mm

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