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EVG301-超声波晶圆清洗机-晶圆键合机

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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有*的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。

详细信息

  EVG301 超声波晶圆清洗机

  基本功能:研发型单晶圆清洗系统(晶圆清洗机)。


一、简介

  晶圆清洗机EVG301半自动单晶圆清洁系统采用一个清洁工作台,使用标准DI水冲洗以及超声波,刷子和稀释化学品清洁晶圆作为额外的清洁选项。通过手动加载和预对准,EVG301 超声波晶圆清洗机是一种多功能研发型系统,可实现灵活的清洁程序,支持300 mm晶圆。EVG301系统可与EVG的晶圆对准和键合系统结合使用,在晶圆键合(晶圆键合机)之前清除任何颗粒。旋转夹头可用于不同的晶圆和基片尺寸,以便轻松配置不同的工艺。

二、特征

  使用1 MHz兆声波喷嘴或区域传感器进行高效清洁(可选)

  刷子擦洗,用于单面清洁(可选)

  用于晶圆清洗的稀释化学品

  防止从背面到正面的交叉污染

  由软件控制清洁过程

三、可选项

  带IR检测的预键合台

  用于非SEMI标准基片的工具

四、参数

  1、晶圆清洗尺寸:200mm,100-300mm

  2、清洗系统:

  打开腔室,旋转器和清洁臂

  3、腔室:由PP或PFA制成(可选)

  4、清洁介质:去离子水(标准),其他清洁介质(可选)

  5、旋转夹头:真空夹头(标准)和边缘处理夹头(可选)由金属离子和清洁材料制成

  旋转:高达3000 rpm(5秒内)

  6、超声波喷嘴:

  频率:1 MHz(3 MHz选项)

  输出功率:30 - 60 W

  去离子水流量:高达1.5升/分钟

  有效的清洁区域:Ø4.0mm

  材质:PTFE

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