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薄膜沉积系统核心组件

微型有机物蒸发器(DE系列)
微型有机物升华器专为实验室研究或微小规模的制备而设计,可以装配高真空或超高真空系统,主要用于通过热升华和沉积的方式制备有机分子(化合物)。升华器具有各种不同的体积,特殊的设计结构可以允许快速更换坩埚,各种材质的升华容器可选。
从规模上讲,CreaPhys微型有机物蒸发器可用于实验室研究、小批量生产,从操作真空上讲,可在高真空(HV)或超高真空(UHV)状态下工作。所有的蒸发器都具有较大范围的沉积速度和稳定的工作温度。CreaPhys提供不同体积的蒸发器体积和不同尺寸的承载架,同时提供各种形状的坩埚,集成安装的遮光板组件以及辅助的水冷系统。所有产品都可根据用户的特殊要求定制。
| 技术参数: l 沉积速度:投掷距离150mm条件下,10-2… 50 A/Sec(与物质密切相关) l 温度: 50°C -800°C l 温度稳定性:< 0.1K l 温度传感器类型:K型 l 可提供体积:100 ccm | 选项: l 不同的承载架,如CF, ISO-KF, ISO-K等,以及不同大小的法兰连接 l 坩埚:氧化铝材质,圆锥形结构(标准),其它形状定制 l 不同型号的PID温度控制器 l 集成安装的遮光器组件(手动、气动、电动等) l 水冷系统 |
单个蒸发器组件 DE-X
容积* | 蒸发器尺寸(mm) | 【大小】 | 订货编号 | ||
A** | B | C | |||
0.5 ccm | 100 | 15.5 | 46 | -0.5 | DE-0.5 |
2 ccm | 100 | 35 | 42.7 | -2 | DE-2 |
4 ccm | 110 | 35 | 53.7 | -4 | DE-4 |
8 ccm | 125 | 35 | 68.7 | -8 | DE-8 |
20 ccm | 145 | 35 | 90 | -20 | DE-20 |
50 ccm* | 190 | 57 | 135 | -50 | DE-50 |
*对于圆锥形蒸发器,体积可达100ccm
**指最小的位于真空系统中的长度,可按照用户的要求延长

法兰选项
法兰 | 【法兰】 | 订货编号 |
不配备法兰 | 基本配置 | DE-【大小】-BASE |
DN40CF* | CF40* | DE-【大小】-CF40 |
DN40KF* | KF40 | DE-【大小】-KF40 |
*更大的法兰需要定制。DN16CF或DN16KF对DE-0.5蒸发器许可。ISO-K法兰需要定制。
遮光板选项
遮光板 | 【遮光板】 | 订货编号 |
不配备遮光板 | NOS | DE-【大小】-【法兰】-NOS |
集成式遮光板,手动 | SHM | DE-【大小】-【法兰】-SHM |
集成式遮光板,气动* | SHP | DE-【大小】-【法兰】-SHP |
集成式遮光板,电动* | SHE | DE-【大小】-【法兰】-SHE |
*有些遮光板不可配备到小型法兰上,如有必要,请咨询详细信息。
多组微型有机物蒸发器(DE系列)
CreaPhys多组微型有机物蒸发器将通过热蒸发原理进行真空沉积,在配备一个标准法兰、一个基本底座的情况下,可同时进行最多三个不同物料的真空沉积。各种热防护和水冷系统可确保温度的准确性和高效的热分离,因此,相邻的蒸发器之间并无干扰,各自的沉积速度在全温度范围内独立可控。
| 技术参数: l 沉积速度:投掷距离150mm条件下,10-2… 50 A/Sec(与物质密切相关) l 温度: 50°C -800°C l 温度稳定性:< 0.1K l 温度传感器类型:K型 l 可提供体积:50 ccm l 集成的水冷系统 | 选项: l 不同的承载架,如CF,ISO-KF, ISO-K等,以及不同大小的法兰连接 l 集成安装的遮光器组件(手动、气动、电动等) l 坩埚:氧化铝材质,圆锥形结构(标准),其它形状定制 l 不同型号的PID温度控制器 l 在一个CF-40法兰上,最多可容纳3个蒸发器 l 仅仅对DE-DUAL-0.5,可设计水平和垂直两种状态 |
多组蒸发器组件 DE-Multi-X
蒸发器个数 | 【多组】 | 订货编号 |
2 | DUAL | DE-【DUAL】 |
3 | TRIPLE | DE-【TRIPLE】 |
容积 | 蒸发器尺寸(mm) | 【大小】 | 订货编号 | |
每一个蒸发器的容积* | A | B | ||
2 ccm | 35 | 70 | -2 | DE-【Multi】-2 |
4 ccm | 35 | 80 | -4 | DE-【Multi】-4 |
8 ccm | 35 | 95 | -8 | DE-【Multi】-8 |
*对于圆锥形蒸发器

其它选项:
以水冷底板为基础的多组微型有机物蒸发器,可以安装于一个法兰盘上,或者组合在不同的遮光板上。没有遮光板时,一套由3个蒸发器组成的多组蒸发器组件可以安装在DN100法兰盘上。如果需要遮光板,则需要加大法兰盘至DN200。具体信息请联系咨询。
最小型多组蒸发器组件 DE-【Multi】-0.5
最小型多组蒸发器设计安装于非常有限的空间内,使用DN40法兰安装。
蒸发器个数 | 每个蒸发器的体积 | 【多组】 | 订货编号 |
2 | 0.5 ccm | DUAL | DE-DUAL-0.5 |
3 | 0.5 ccm |