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薄膜沉积系统核心组件
坩埚型金属蒸发器(ME系列)

标准的ME-系列坩埚型金属蒸发器。通常的被沉积材料包括Ag, Mg, Ca, Cu 和 Au 等。如果沉积材料具有腐蚀性(如铝等),请选择MEB系列及遮光板选项。
| 技术参数: l 沉积速度:投掷距离250mm条件下,10-2 … 50 A/Sec(与物质密切相关) l 温度: 300°C -1400°C l 钨丝,带陶瓷绝热器 l 功率:9A/350W(与大小有关) l 温度传感器类型:C型 l 水冷系统(约4L/min) l 温度稳定性:<0.1K l 适用于Ag, Mg,Ca, Cu 和 Au 等 | 选项: l 法兰:CF法兰 l 不同大小的坩埚 l 电源供应 l 遮光器 l PID温度控制器 |
坩埚型金属蒸发器ME-X
容积* | 蒸发器尺寸(mm) | 【大小】 | 订货编号 | |||
A** | B | C | D | |||
4 ccm | 110 | 35 | 53.7 | 20 | -4 | ME-4 |
8 ccm | 125 | 35 | 68.7 | 23 | -8 | ME-8 |
*对于圆锥形蒸发器
**指最小的位于真空系统中的长度,可按照用户的要求延长

法兰选项
法兰 | 【法兰】 | 订货编号 |
无法兰 | BASE | ME-【大小】-BASE |
DN40CF* | CF40 | ME-【大小】-CF40 |
*更大的法兰、ISO法兰需要定制。水冷系统没有包括。
遮光板选项
遮光板 | 【遮光板】 | 订货编号 |
不配备遮光板 | NOS | DE-【大小】-【法兰】-NOS |
集成式遮光板,手动 | SHM | DE-【大小】-【法兰】-SHM |
集成式遮光板,气动* | SHP | DE-【大小】-【法兰】-SHP |
集成式遮光板,电动* | SHE | DE-【大小】-【法兰】-SHE |
*有些遮光板不可配备到小型法兰上,如有必要,请咨询详细信息。
特殊定制型蒸发器
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