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等离子体增强原子层沉积（PEALD）系统 PICOPLASMA™
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北京正通远恒科技有限公司成立于2001年，是一家经营欧美等国*科学测试仪器和设备，并将技术引入国内的科技服务型企业。目前，公司在北京、上海、广州、深圳、合肥、苏州均设有办事处。
公司用受人尊敬的、专业的方式来经营公司的业务（HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way）。
公司的主营仪器包括：分子相互作用分析仪器、机器视觉仪器、表/界面分析测试仪器、界面/混凝土流变仪、薄膜沉积与表征仪器等。
公司愿景：公司愿意成为深刻了解客户心理、全面满足客户需求，以应用为基础的专业仪器设备供应商、专有技术提供商，实现公司在行业内的超常规发展。
详细信息
Picosun公司新型PICOPLASMA™等离子体增强原子层沉积（PEALD）系统是基于的自由离子远程等离子源设计的，其性能已经得到世界范围内的诸多研究团队的肯定。多种激发源（如氧、氢和氮等）配置能够拓展ALD的工艺范围，尤其是低温沉积金属和金属氮化物薄膜。由于远程等离子源所产生的等离子体束流中离子的含量低，因此即使是最敏感的衬底，也不会出现等离子损伤，而等离子束流中含有高浓度的活性粒子，保证很快的生长速度。
