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ALD 探头

型号

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深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。

详细信息

满足 ALD 应用的精度、运行时间以及极低的维护要求

INFICON ALD 探头为原子状态膜层沉积 (ALD) 提供了具石英晶体微天平 (QCM) 测量水准的可靠性、精度和重复性。ALD 探头可承受高达 450 ℃ 的高温,其设计允许探头在严苛的 ALD 应用环境中运行。裸露的晶体电极接地,以有效地消除任何潜在的电气干扰问题。

专为 ALD 设计

INFICON ALD 探头的独特性之一便是利用惰性气体(通常为氮气)吹扫晶片背面和探头腔体。这可防止反应室的气体进入探头,并确保晶片背面和电气触点无沉积材料。这种技术可在不适合使用标准 QCM 的系统中实现现场测量。

馈入件和馈入件连接

INFICON ALD 探头可采用自定义焊接长度,也可采用长度可调的压缩接头而无需铜焊或焊接。所有配置都使用 2 ¾ 英寸(CF40) ConFlat® 法兰馈入件。

高温晶片实现更准确的测量

与 INFICON 的新型高温石英晶片结合使用时,INFICON ALD 探头可在高温应用中达到测量精度和较低的频率噪声。这些高温晶片针对 120、240 和 285 ℃ 应用进行了优化,因此您总能获得适合自己应用的正确晶片。也可提供针对其他温度优化过的晶片。请根据自己的需求联系 INFICON。

益处

  • 与大多数 ALD 工艺温度兼容
  • 显著减少维护工作
  • 系统运行时间
  • 测量精度
  • 在高工艺温度下可获得低噪声的稳定读数

功能

  • 工作温度可达 450 ℃
  • 气体吹扫管路可防止晶体背片出现沉积材料
  • 焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件
  • O 形密封圈压缩接头选件
  • 提供高温晶片

典型应用

  • 原子层沉积 (ALD)

零件号

Welded ALD Sensor
零件号 明细
750-713-G4 焊接 ALD 探头
Adjustable ALD Sensor
零件号 明细
750-717-G2 可调 ALD 探头,长度调节范围为 101.6 至 393.7 mm(4 至 15.5 in.)
750-717-G4 可调 ALD 探头,长度调节范围为 101.6 至 901.7 mm(4 至 35.5 in.)

规格

类型 Welded ALD Sensor Adjustable ALD Sensor
温度 450° C 130° C
馈入件 2.75 in. ConFlat® 2.75 in. ConFlat® equipped with O-ring compression fittings
探头/馈入件连接 Welded (no fillers) O-ring compression fittings
气体和同轴管 Gas:
3.2 mm (1/8 in.) O.D. (vacuum side)

6.4 mm (1/4 in.) O.D. (atmosphere side)

Coax:
4.8 mm (3/16 in.) O.D.
Gas:
3.2 mm (1/8 in.) O.D.

Coax:
4.8 mm (3/16 in.) O.D.
探头尺寸 (外壳) 34 x 35 x 24 mm
(1.35 x 1.38 x 0.94 in.)
34 x 35 x 24 mm
(1.35 x 1.38 x 0.94 in.)
晶片更换 Front loading, self-contained package
Cam-type locking handle
Front loading, self-contained package
Cam-type locking handle
安装 Four #4-40 tapped holes on back of sensor body Four #4-40 tapped holes on back of sensor body
材料    
主体和支架 304 stainless steel 304 stainless steel
弹簧 Molybdenum and Inconel X-750 Molybdenum and Inconel X-750
气体和同轴管 Seamless 304 stainless steel Seamless 304 stainless steel
其他机械部件 18-8 or 304 stainless steel 18-8 or 304 stainless steel
绝缘体 >99% Al2O3 in vacuum >99% Al2O3 in vacuum
电线 1) Ni (in vacuum)
2) Ni plated Cu (elsewhere)
1) Ni (in vacuum)
2) Ni plated Cu (elsewhere)
铜焊 Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
O 形密封圈压缩接头 N/A 304 stainless steel, Viton®

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规格类型

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