$item.Name
$item.Name

首页>仪器仪表>其它仪器仪表>其它仪器仪表产品

Sputtering Sensor 溅射型探头

型号
Sputtering Sensor

该企业相似产品

深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。

详细信息

INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。镀金铍铜传感器体和冷却管在溅射环境中可实现冷却效果。传感器头内置的磁铁可抑制因外部磁场偏转溅射系统中的高能自由电子而引起的过热。后装式晶体支架设计便于更换晶体,更换时无需从系统中拆卸传感器头。

功能

  • 镀金铍铜传感器体和冷却管可实现冷却效果
  • 磁铁可偏转自由电子,使其远离监控器晶体
  • 利用可弯曲的水管轻松安装,灵活放置传感器
  • 后装式晶体插入便于更换晶体

零件号

Sputtering Sensor
零件号 明细
750-618-G1     溅射传感器(仅传感器,不包括馈入件)

规格

类型 Sputtering Sensor
无水时的烘烤温度 105°C
最小水流时的工作等温环境温度 400° C
尺寸(外壳) 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
水、空气和同轴长度 Standard 30 in. (76.2 cm)
晶体交换 Rear-loading
安装 Customer supplied
安装要求  
馈入件

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042


其他

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

水流速 Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
材料  
主体和支架 Au plated Be-Cu
弹簧、电气触点 Au plated Be-Cu
水管 Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
连接器 304 Stainless steel
绝缘体 99% Al2O3
电线 Teflon® insulated copper
焊料 Cadmium free silver and indium alloys
晶体 0.550 in. (1.4 cm) Diameter
磁铁 ALNICO 5 Alloy
可选闸门组件 750-005-G1 规格:  
温度 130° C
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(压缩接头)端接:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
安装 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
安装 Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

相关技术文章

同类产品推荐

产品参数

规格类型

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
温馨提示

该企业已关闭在线交流功能

请拨打电话联系

提示

请选择您要拨打的电话: