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LCL-13 薄膜测厚仪
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天津良益科技股份有限公司坐落于美丽海滨城市天津、专业从事光学实验仪器和光谱分析仪器的生产厂商和提供商，集产品的研发、设计、销售以及服务于一体的*企业，已建立*的企业体制、主要仪器设备设计范围有：物理、化学、生物、分析等一系列仪器设备，为国家的科研、教育、工业等建设做出了重大贡献；公司是由多年从事教学及试验仪器行业的专业技术人员为核心的综合性企业。
详细信息
仪器简介：
LCL-13型薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理，本仪器可提供非接触测量薄膜厚度，折射率，吸收系数等；采用软件版本，具有纳米级精确测量和方便使用等优点；测量方便度和准确度远好于常用光学椭偏仪。是薄膜研究，光学镀膜，和半导体生产的测量研究仪器。
实验内容：
1、学会薄膜和涂层的厚度测量及折射率和吸收系数的测定
主要配置和参数：
序号 | 名称 | 规格和参数 |
1 | 厚度范围 | 20nm-50um(只测膜厚），100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k）根据薄膜材料的种类，其范围有所不同 |
2 | 准确度 | <1nm或<0.5% |
3 | 重复性 | 0.1nm |
4 | 波长范围 | 380nm-1000nm |
5 | 可测层数 | 1-4层 |
6 | 样品尺寸 | 样品镀膜区直径>1.2mm |
7 | 测量速度 | 5s-60s |
8 | 光斑直径 | 1.2mm-10mm可调 |
9 | 样品台 | 290mm*160mm |
10 | 光源 | 长寿命溴钨灯（2000h） |
11 | 光纤 | 纯石英宽光谱光纤 |
12 | 探测器 | 进口光纤光谱仪 |
13 | 电源 | AC100V-240V,50Hz-60Hz |
14 | 重量 | 18kg |
15 | 尺寸 | 300mm*300mm*350mm |
