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LCL-4A 椭圆偏振测厚仪

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天津良益科技股份有限公司坐落于美丽海滨城市天津、专业从事光学实验仪器和光谱分析仪器的生产厂商和提供商,集产品的研发、设计、销售以及服务于一体的*企业,已建立*的企业体制、主要仪器设备设计范围有:物理、化学、生物、分析等一系列仪器设备,为国家的科研、教育、工业等建设做出了重大贡献;公司是由多年从事教学及试验仪器行业的专业技术人员为核心的综合性企业。

详细信息




仪器简介:

    手动椭圆偏振测厚仪使用消光法测量薄膜厚度和折射率;手动调节测试过程中的起偏和检偏角度。椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量。在己有测定薄膜厚度的方法中,它是能测量到和精度的一类。



实验内容:

1、了解并熟悉仪器的工作原理和性能

2、掌握如何利用设备测试样品的方法



主要配置和参数:

序号

名称

规格和参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量最小值

≤1nm

3

入射角

30°-90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°-180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标最小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

Φ70mm

9

外形尺寸

730mm*230mm*290mm

10

主机重量

20kg






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