T1D系列无铁芯直线电机驱动双方导轨式定位平台;高价值标准功能及配件: •框架宽度为124.9 mm •行程为665.5 mm •重复位置精度为+/- 1.0微米 •光学编码器分辨率为5.0,1.0,0.5和0.1微米,线性磁选项为5和1微米,以及1 Vp-p正弦/余弦 •速度为3000 mm / sec •集成I-Force无铁直线电机,双方形轨道导向,原点/限位传感器和反馈 •有效载荷为132.4 N •推力202.5 N •预配置电缆选项 •方便的螺纹孔安装 •具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据 T2D系列无铁芯直线电机驱动方导轨式高精度定位平台;高价值标准功能及配件: •机架宽度146 mm •行程为2865.1 mm •重复位置精度为+/- 1.0微米 •光学编码器分辨率为5.0,1.0,0.5和0.1微米,线性磁选项为5和1微米,以及1 Vp-p正弦/余弦 •速度为5000 mm / sec •集成I-Force无铁直线电机,双方形轨道导向,原位/限位传感器和反馈 •有效载荷为444.4 N •推力为494.2 N •预配置电缆选项 •方便的螺纹孔安装 •具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据 T3D系列无铁芯直线电机驱动双方导轨式高精度定位平台;高价值标准功能及配件: •机架宽度为190.5 mm •行程为2814.3 mm •重复位置精度为+/- 1.0微米 •光学编码器分辨率为5.0,1.0,0.5和0.1微米,线性磁选项为5和1微米,以及1 Vp-p正弦/余弦 •速度为5000 mm / sec •集成I-Force无铁直线电机,双方形轨道导向,原点/限位传感器和反馈 •有效载荷为1059.5 N •推力1170 N •预配置电缆选项 •方便的螺纹孔安装 •具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据 T4D系列无铁芯直线电机驱动双方导轨式定位平台;高价值标准功能及配件: •框架宽度为228.6 mm •行程2786.4 mm •重复位置精度为+/- 1.0微米 •光学编码器分辨率为5.0,1.0,0.5和0.1微米,线性磁选项为5和1微米,以及1 Vp-p正弦/余弦 •速度为5000 mm / sec •集成I-Force无铁直线电机,双方形轨道导向,原点/限位传感器和反馈 •有效载荷为1775.6N •推力3928.1 N •预配置电缆选项 |