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mSR080微型有铁芯直线电机驱动定位平台

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详细信息

概要

MSR80是一个高精度,微型线性平台,包括无铁芯线性电机,集成的高分辨率反馈和精确的方形轨引导。 MSR80系列的尺寸只有80 mm宽,25 mm高。
MSR80是一种微型,高精度线性位置平台,其使用双精度级方形轨道进行引导,并使用有铁芯线性电机进行驱动。 MSR80具有非常紧凑的设计 - 测量宽度仅为80 mm,高度为25 mm。MSR80将相关的部件整合在这个微型平台上:如平台导轨,线性电机,线性编码器,限位和零位传感器 - 使其成为空间受限的应用场合-如生命科学或光学领域的电动位置平台的选择。同时MSR80可以轻松地配置成为多轴产品。

特征

MSR80系列高精度有铁芯直线电机驱动精密双方导轨式线性定位器;标准功能及配件:
•框架宽度为80 mm
•五个标准行程,25,35,50,100和150 mm
•重复位置精度为+/- 0.1微米
•集成磁性(1.0微米),光学(1.0,0.1,0.01微米)或模拟正弦/余弦编码器选项
•速度为2000 mm / sec
•可选4或8极线性电机传动系统选件
•有效载荷78 N
•推力为24 N
•集成和可调零位和限位感应
•提供标准多轴配置
•具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据

技术概述
参数 单位 行程
25 35 50 100 150
框架(宽x高x长) mm 80x25x110 80x25x120 80x25x165 80x25x265 80x25x365
负载 Kg 4 4 8 8 8
峰值推力 N 12 12 24 24 24
连续推力 N 4 4 8 8 8
加速度 G 3 3 3 3 3
标准级平面度 μm ±6 ±6 ±8 ±10 ±15
精密级平面度 μm ±3 ±3 ±4 ±5 ±10
滑块质量 Kg 0.2365 0.2365 0.3065 0.4115 0.519
平台质量 Kg 0.525 0.5815 0.7395 1.0665 1.403
磁性编码器-1微米分辨率
速度 mm/s 1100 1500 2000 2000 2000
双向重复定位精度 μm ±5.0
定位精度 μm 20 20 30 40 40
1μm分辨率光栅反馈
速度 mm/s 1100 1500 2000 2000 2000
双向重复定位精度 μm ±2.0
定位精度 μm 9 9 9 11 13
定位精度(矫正) μm 5 6 6 6 7
0.1μm分辨率光栅反馈
速度 mm/s 300 300 300 300 300
双向重复定位精度 μm ±0.3
定位精度 μm 8 8 8 10 12
定位精度(矫正) μm 4 5 5 5 6
0.01μm分辨率光栅反馈
速度 mm/s 30 30 30 30 30
双向重复定位精度 μm ±0.1
定位精度 μm 8 8 8 10 12
定位精度(矫正) μm 4 5 5 5 6
 

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