mSR100微型无铁芯直线电机驱动定位平台-智慧城市网-手机站

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详细信息

概要

MSR100是一个高精度，微型线性平台，包括无铁芯线性电机，集成的高分辨率反馈和精确的方形轨引导。 MSR100系列的尺寸只有100 mm宽，35 mm高。
MSR100是一种微型，高精度线性定位器，其使用双精度级方形轨道进行引导，并使用无铁芯直线电机进行驱动。 MSR100具有紧凑的设计 - 测量宽度仅为100 mm，高度为35 mm。MSR100将相关的部件整合在这个微型平台上：如平台导轨，线性电机，线性编码器，可调节的限位和零位传感器 - 使其成为空间受限的应用场合-如生命科学或光学领域的直线定位器的选择。同时MSR100可以轻松地配置成为多轴产品。

特征

MSR100系列无铁芯双方导轨式直线电动位置平台; 标准功能及配件：
•框架宽度为100 mm
•标准行程从25 mm到500 mm行程
•重复位置精度为+/- 0.1微米
•集成磁性（1.0微米），光学（1.0,0.1,0.01微米），模拟正弦/余弦或BiSS-C编码器选项
•速度为3000 mm / sec
•可选3或5极线性电机传动系统选件
•有效载荷117 N
•推力50 N
•集成和可调零位和限位感应
•提供标准多轴配置
•具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据

技术概述

参数	单位	行程
		25	50	50	100	100	150	150	200	200	250	250
		LS	LS	LD	LS	LD	LS	LD	LS	LD	LS	LD
负载	kg	12	12	12	12	12	12	12	12	12	12	12
峰值推力	N	33	33	50	33	50	33	50	33	50	33	50
连续推力	N	11	11	16.7	11	16.7	11	16.7	11	16.7	11	16.7
动态循环	%	100
加速度（无负载）	G's	3
标准级平面度	μm	±5	±5	±5	±8	±8	±8	±8	±8	±8	±10	±10
精密级平面度	μm	±3	±3	±3	±4	±4	±4	±4	±4	±4	±5	±5
滑块质量	kg	0.34	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46
平台质量	kg	1.06	1.21	1.57	1.45	1.80	1.68	2.03	1.91	2.35	2.23	2.59
磁性编码器-1微米分辨率
速度	mm/s	1100	1500	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±5.0
定位精度	μm	40	40	40	80	80	80	80	100	100	100	100
光学编码器-1微米分辨率
速度	mm/s	1100	1500	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±2.0
定位精度	μm	10	10	10	10	10	10	10	12	14	14	14
定位精度（修正后）	μm	6	6	6	6	6	7	7	7	7	8	8
光学编码器-0.1微米分辨率
速度	mm/s	300	300	300	300	300	300	300	300	300	300	300
双向重复定位精度	μm	±0.4
定位精度	μm	9	9	9	9	9	9	9	11	11	13	13
定位精度（修正后）	μm	5	5	5	5	5	6	6	6	6	7	7
光学编码器-0.01微米分辨率
速度	mm/s	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30
双向重复定位精度	μm	±0.2
定位精度	μm	8	8	8	8	8	8	8	10	10	12	12
定位精度（修正后）	μm	4	4	4	4	4	5	5	5	5	6	6
BiSS-C值编码器-0.05微米分辨率
速度	mm/s	1100	1500	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±0.4
定位精度	μm	9	9	9	9	9	9	9	11	11	13	13
定位精度（修正后）	μm	5	5	5	5	5	6	6	6	6	7	7

参数	单位	行程
		300	300	350	350	400	400	450	450	500	500
		LS	LD	LS	LD	LS	LD	LS	LD	LS	LD
负载	kg	12	12	12	12	12	12	12	12	12	12
峰值推力	N	33	50	33	50	33	50	33	50	33	50
连续推力	N	11	16.7	11	16.7	11	16.7	11	16.7	11	16.7
动态循环	%	100
加速度（无负载）	G's	3
标准级平面度	μm	±10	±10	±12	±12	±16	±16	±20	±20	±20	±20
精密级平面度	μm	±5	±5	±6	±6	±8	±8	±10	±10	±12	±12
滑块质量	kg	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46
平台质量	kg	2.47	2.82	2.7	3.05	2.93	3.37	3.25	3.6	3.48	3.84
磁性编码器-1微米分辨率
速度	mm/s	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±5.0
定位精度	μm	100	100	100	100	100	100	100	100	100	100
光学编码器-1微米分辨率
速度	mm/s	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±2.0
定位精度	μm	16	16	18	18	20	20	2	22	24	24
定位精度（修正后）	μm	8	8	9	9	9	9	10	10	10	10
光学编码器-0.1微米分辨率
速度	mm/s	300	300	300	300	300	300	300	300	300	300
双向重复定位精度	μm	±0.4
定位精度	μm	15	15	17	17	19	19	21	21	23	23
定位精度（修正后）	μm	7	7	8	8	8	8	9	9	9	9
光学编码器-0.01微米分辨率
速度	mm/s	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30
双向重复定位精度	μm	±0.2
定位精度	μm	14	14	16	16	18	18	20	20	22	22
定位精度（修正后）	μm	6	6	7	7	7	7	8	8	8	8
BiSS-C值编码器-0.05微米分辨率
速度	mm/s	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±0.4
定位精度	μm	15	15	17	17	19	19	21	21	23	23
定位精度（修正后）	μm	7	7	8	8	8	8	9	9	9	9

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