Agilis压电电机驱动定位平台

Agilis 压电电机线性平移台是配备了压电电机的高精度微型平移台。凭借高的调节灵敏度、便捷的可编程操作以及紧凑的设计，Agilis 平移台以高品质手动平移台的价格实现了出色的运动性能。
·支持小的最小增量运动
·不使用时具备一劳永逸的稳定性
·无波纹和低摩擦行程
·适用于直读编码器和 CONEX 控制器
·适用于真空兼容版本

50 nm 最小增量运动
Agilis 专有压电技术提供 50 nm 的增量运动能力，使其成为灵敏对准和调整的理想选择。
集成有线性编码器版本
该CONEX-AG-LS25-27P 集成有直读线性编码器，可提供亚微米级双向重复精度。对于定位时的稳定性，比如当平移台处于设定的位置公差内时，用户可以通过调整死区值来停止其抖动。
真空兼容版本
Agilis 线性平移台具有真空兼容版本，该版本可以在真空（10-6 Torr）环境中使用。
多轴配置
对于 XZ 和 XYZ 配置，您可以使用 339233 支架。对于 AG-LS25 平移台的 XY 组件，使用每个平移台附带的 4 个 TC M3x4 螺钉。
一劳永逸的长期稳定性
Agilis 压电电机直接耦合到移动托架，没有中间螺钉或齿轮，避免了传动系统中的耦合问题。停顿时，该电机的夹持力会将当前的位置锁住，实现真正的"一劳永逸"的长久稳定性。
无波纹和低摩擦行程
具有热匹配的不锈钢设计和精密制造的轴承表面的 Agilis 线性平移台可实现无波纹、低摩擦的线性位移，和任何轴上的角度偏差都可小于 100 µrad。