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D07系列大量程气体质量流量控制器

型号
郑州科探仪器设备有限公司

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该企业相似产品

等离子清洗机,真空探针台,石英管真空封口机,气体配比器,小型蒸镀仪,小型溅射仪

    郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 及科学高校,科探仪器已经成为老师 同学和信任的品牌。 

    公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!

    目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉 CVD供气系统 等离子清洗机 小型离子溅射仪 小型蒸镀仪 石英管真空封口 真空探针台 半导体等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。 公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。

    我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

详细信息

D07-60B气体质量流量控制器 高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型 广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

D07-60B 气体质量流量控制器
产品型号:D07-60BM
★ 高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型

★ 橡胶密封 模拟电路的MFC

★ 国际标准机械接头

编号 项 目 D07-60BM
1 流量规格 300,500,750,1000,1500,2000SLM
2 准确度 ± 2% F.S.
3 线性 ±1% F.S.
4 重复精度 ±0.2%F.S.
5 响应时间 < 10 sec
6 工作压差范围 <0.2 MPa
7 耐压 3 MPa
8 工作环境温度 5~ 45 ℃
9 输入信号
10 输出信号 0~5.00V(输出电流≤3mA)
11 阀的类型
12 电源 +15V 50 mA
-15V 50 mA
13 外形尺寸 见图 3a、3b、3c、3d
14 重量 5kg

注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);

            SLM (标准升/分)

标准状态规定为:温度 --- 273.15K ( 0℃ );

气压 — 101325 Pa (760mm Hg)

在七星电子MFC/MFM产品中,单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm”等同,单位SLM和“L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S. (Full Scale): 满量程值

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