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D07系列质量流量控制器

型号
郑州科探仪器设备有限公司

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生产厂家

该企业相似产品

等离子清洗机,真空探针台,石英管真空封口机,气体配比器,小型蒸镀仪,小型溅射仪

    郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 及科学高校,科探仪器已经成为老师 同学和信任的品牌。 

    公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!

    目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉 CVD供气系统 等离子清洗机 小型离子溅射仪 小型蒸镀仪 石英管真空封口 真空探针台 半导体等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。 公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。

    我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

详细信息

D07-26C质量流量控制器 它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括; 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

编号

项目

D07-26C

1

流量规格

(20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~1,2,3,5,10) SLM

2

准确度

±1.5 % F.S.

3

线性

±1% F.S.

4

重复精度

±0.2 % F.S.

5

响应时间

≤10 sec

6

工作压差范围

0.1 ~ 0.5 MPa

7

耐压

3 MPa

8

温度系数

Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;

9

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

10

输入信号

0 V ~ +5.00 V

11

输出信号

0 V ~ +5.00 V

12

电插头形式

DB15 pin(Female)

13

电源

+15 V 50 mA

-15V 200 mA

14

外形尺寸

见图4

15

重量

1.1 kg

注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分)

SLM (标准升/分);

标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0°C );

气压 — 101325 Pa (760mm Hg)

在七星电子 MFC/MFM 产品中心,单位 SCCM 和“mL/min, 0°C,1atm”等同,单位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm”等同。

F.S (Full Scale): 满量程值

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