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紧凑、低成本的惯性驱动器原理(粘-滑)。静止状态下,驱动器自锁,无需电流,不产生热量。其能用的力保持住位置
增量编码器测量相对于自由定义的参考位置进行的运动。与E-871运动控制器结合后,编码器分辨率可达小于1纳米。
光程的稳定校准。长期定位稳定性:目标位置上的高稳定性,较长时间停机后仍能可靠启动。通过将压电陶瓷促动器与机械螺纹平移结合后实现高保持力和高分辨率。真空兼容型可达10-6百帕
| 初步数据 | | | | | |
|---|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X | X | X | X | |
| 机械接口 | M10×1安装螺纹(N-472.110;N-472.110Y) 9.5毫米螺栓(无螺纹部)(N-472.120;N-472.120Y) | M10×1安装螺纹或9.5毫米螺栓(无螺纹部),真空兼容至10-6百帕 | M10×1安装螺纹(N-472.210;N-472.210Y) 9.5毫米螺栓(无螺纹部)(N-472.220;N-472.220Y) | M10×1安装螺纹或9.5毫米螺栓(无螺纹部),真空兼容至10-6 百帕 | |
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| 行程 | 7.5 | 7.5 | 13 | 13 | 毫米 |
| 集成传感器 | 增量,光学 | 增量,光学 | 增量,光学 | 增量,光学 | |
| 传感器信号 | 模拟量,1 | 模拟量,1 | 模拟量,1 | 模拟量,1 | 伏峰峰 |
| 分辨率* | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 纳米 |
| 单向重复精度** | 200 | 200 | 200 | 200 | 纳米 |
| 最小位移** | 50 | 50 | 50 | 50 | 纳米 |
| 速度,开环 | 3.6 | 3.6 | 3.6 | 3.6 | 毫米/分 |
| 连续操作中的推荐速度。 | 2 | 2 | 2 | 2 | 毫米/分. |
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| 保持力、断电 | >100 | >100 | >100 | >100 | 牛 |
| 馈通力(主动) | 22 | 22 | 22 | 22 | 牛 |
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| 驱动类型 | PIShift压电陶瓷惯性驱动器 | PIShift压电陶瓷惯性驱动器 | PIShift压电陶瓷惯性驱动器 | PIShift压电陶瓷惯性驱动器 | |
| 电机电压 | 80 | 80 | 80 | 80 | 伏峰峰 |
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| 工作温度范围 | 10 到 40 | 10 到 40 | 10 到 40 | 10 到 40 | °C |
| 材料 | 螺丝:不锈钢 外壳:铝 | 螺丝:不锈钢 外壳:铝 | 螺丝:不锈钢 外壳:铝 | ||
| 电缆长度 | 2 | 2 | 2 | 2 | 米 |
| 连接器 | 促动器:Sub-D15(公) | 促动器:Sub-D15(公) | 促动器:Sub-D15(公) | 促动器:Sub-D15(公) | |
| 推荐控制器/驱动器 | E-871 | E-871 | E-871 | E-871 |
*带E-871运动控制器
**相对于运动方向施加了20牛预载
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