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M系列 手动探针台

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北京东方中科集成科技股份有限公司(简称:"东方中科")是控股有限公司旗下东方科仪控股集团有限公司的控股子公司,是在中关村科技园区注册的,2016年11月在深圳证券交易所A股上市,代码:002819。东方中科作为国内的测试技术和科技服务公司,为广大客户提供了包括仪器增值销售、科技租赁、系统集成及相关技术服务在内的“一站式”综合服务。多年来深耕测试测量领域,在5G通讯、新能源、工业及消费电子、人工智能、云计算大数据、新基建等多个领域提供了具有竞争力的综合测试服务解决方案。营销网络覆盖北京、上海、广州、深圳、南京、苏州、杭州、西安、武汉、成都在内的国内众多制造与研发基地。东方中科依托专业化的团队、*的运营能力和业内的服务品牌,在不断优化服务质量、扩大市场辐射范围的同时,坚持以战略新兴产业测试应用为主要发展方向,紧密结合高技术相关产业的科技进步和发展,不断探索拓展测量领域技术和应用前沿,将硬科技领域作为未来的战略发展重点。我们始终秉承科技无限、服务创新的使命,通过内生增长和投资并购,保持业务规模的持续增长,建立和*多元服务体系,充分发挥下属直投企业的科技资源优势,整合院署科研院所庞大的科技IP资源,全力打造促进科技成果转化的产业平台和生态体系,为推动国家高科技产业升级与结构调整贡献力量。

详细信息

“如果您的测试PAD大于30μm,M系列则是您在实验室中的优选设备之一”

 

产品亮点

 

  • UPStart模块化设计
  • 可根据测试需求配置相应模块,多种配置可选
  • 封闭式移动平台,防尘,防误操作,耐用时间长,定位更精准
  • POMater自适应隔震底座
  • 采用德国进口隔震材料,提高测试稳定性

 

产品参数

 

型号 M4 M6 mini M6
外形(长*宽*高) 650*490*620mm 650*490*620mm 650*490*620mm
重量(KG) 约45kg 约47kg 约52kg
电力需求 220VC,50~60Hz
卡盘
常温标准
卡盘尺寸 4" 6" 6"
样品固定方式 环形及多孔真空吸附(可定制)
背电极测试功能 有/样品台电学独立悬空
卡盘材质 316#不锈钢(可选黄铜镀镍or镀金)
卡盘
移动平台
X-Y行程 100*100mm 100*100mm 150*150mm
移动精度 10μm
Theta行程 360°旋转(粗调);可旋转微调,微调精度0.002°
卡盘升降 N/A
卡盘快速拉出 N/A
控制方式 小型旋钮驱动
针座平台 平台尺寸 长540mm*宽310mm
卡盘到平台距离 8mm(卡盘上表面与针座平台下表面)
针座数量 最多可放置6针座(DC×6/RF×4,DC×2)
针座平台升降 N/A
针座定位方式 磁力吸附或真空吸附
光学特性 显微镜规格 标配体视显微镜(可选配视频显微镜)
放大倍数 16~100X
CCD像素 3种CCD可选:200W(数字)/500W(数字)/650W(数字)
显微镜控制行程 显微镜调焦架控制可360度旋转,Z轴:50.8mm
显微镜移动精度 N/A
镜头切换方式 N/A
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm
机械精度 10μm/2μm/0.7μm
漏电精度 10pA/100fA (配置屏蔽箱时)
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口

 

(*规格和设计如有更改,恕不另行通知。)

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