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H系列 手动探针台

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北京东方中科集成科技股份有限公司(简称:"东方中科")是控股有限公司旗下东方科仪控股集团有限公司的控股子公司,是在中关村科技园区注册的,2016年11月在深圳证券交易所A股上市,代码:002819。东方中科作为国内的测试技术和科技服务公司,为广大客户提供了包括仪器增值销售、科技租赁、系统集成及相关技术服务在内的“一站式”综合服务。多年来深耕测试测量领域,在5G通讯、新能源、工业及消费电子、人工智能、云计算大数据、新基建等多个领域提供了具有竞争力的综合测试服务解决方案。营销网络覆盖北京、上海、广州、深圳、南京、苏州、杭州、西安、武汉、成都在内的国内众多制造与研发基地。东方中科依托专业化的团队、*的运营能力和业内的服务品牌,在不断优化服务质量、扩大市场辐射范围的同时,坚持以战略新兴产业测试应用为主要发展方向,紧密结合高技术相关产业的科技进步和发展,不断探索拓展测量领域技术和应用前沿,将硬科技领域作为未来的战略发展重点。我们始终秉承科技无限、服务创新的使命,通过内生增长和投资并购,保持业务规模的持续增长,建立和*多元服务体系,充分发挥下属直投企业的科技资源优势,整合院署科研院所庞大的科技IP资源,全力打造促进科技成果转化的产业平台和生态体系,为推动国家高科技产业升级与结构调整贡献力量。

详细信息

SEMISHARE研发的卡盘移动技术,可满足您对整片晶圆快速测试的需求,H系列探针台非常适合研发类实验室的 一次性预算购置。

 

产品亮点:H系列手动探针台

 

  • 三段式可升降针座平台
  • 便于定位,快速分离样针
  • 标配金相显微镜,达到1μm以上的Pad测试
  • 可搭载激光器进行FA失效分析/激光切割
  • 气控式卡盘移动技术,可快速拉出卡盘

 

产品参数:H系列手动探针台

 

卡盘移动平台(标准配置)

XY行程范围 150mm*150mm/200mm*200mm/300 mm x 300 mm
XY行程 300mm x 300 mm(满足大范围行程测试)
移动精度/分辨率 < 1.0 µm (~1 mm/rev)
平面性 ±5µm
theta行程 粗调:360°
微调精度:± 8.0°
分辨率:7.5 x 10-3 gradient
运动控制 气控+大手柄控制
Z轴快速升降 快速升降:3mm
微调升降:0-13mm,精度:≤2µm

 

手动显微镜平台

移动范围 50 mm x 50 mm
移动分辨率 ≤2µm
显微镜Z升降 25mm-100mm *取决于显微镜配置
气动升降50mm
运动控制 独立控制的X和Y旋钮

 

针座平台

材料 钢镀镍
针座数量 8 DC and 4 RF(取于针座配置)
卡盘到针座平台下底面距离 8mm(卡盘上表面与针座平台下表面)
Z-height运动范围 Max.0-40mm (取于卡盘配置)
针座平台升降 3段:分离(300µm),卡盘装载(2-5mm),不间断升降(0-40mm)
接触重复性 < ±1µm
RF 针座固定 磁力吸附/真空吸附
DC 针座固定 磁力吸附/真空吸附

(*规格和设计如有更改,恕不另行通知。)

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