山东英福康潘宁规 PEG100INFICON Edge CDG045D2真空计

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等外延设备翻新维修

电容膜片真空计INFICON Edge CDG045D2、CDG100D2

AMAT 0010-13019-001 Side PVD Magnet 300mm Encore Ch6

AMAT 0010-13755 WxZ Exhaust Port Kit w/ Viton Seals

AMAT 0010-13755 WxZ Exhaust Port Kit w/ Viton Seals6

英福康潘宁真空计、潘宁规 INFICON PEG100：

INFICON PEG100潘宁真空计、中真空至***真空真空计

INFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。 ***的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件，除了对数模拟输出信号外，允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。

益处：

• 测量***，从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）

• 全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置

• ***电极几何形状提供***的点火属性

• 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中

• 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换

• ***小化真空计附近的磁场强度

• 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器

• 对数模拟输出信号

• 现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用：

• 高真空压力监控

• 蒸发溅射系统

• 高真空范围内的一般真空测量和控制

Used AMAT  0190-40086 Rev A General Microsystems 16 Mbyte V36

Used  Producer S Shrink Chamber Heater Lift Assembly AMAT

Vectra IMP 0.010 Cap 0010-13622

Wafer Orienter 8”  0010-70131 AMAT

Wafer Orienter 8”  0010-70131 AMAT6

White Knight AMAT  Shuttle Pump PL-120 PL120 PL-120-0146

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