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德国英福康INFICON PEG100潘宁真空计
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详细信息
测量范围广，从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置
创新的电极几何形状提供的点火属性
等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中
阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
最小化真空计附近的磁场强度
用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
对数模拟输出信号
现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用
高真空压力监控
蒸发溅射系统
高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | PEG100 | |||
| 测量范围 | 1 x 10-9 to 1 x 10-2 | |||
| 精度 |
| |||
| 10-8 至 10-4 毫巴 | % of reading | ±30 | ||
| 压力，（） | bar | 10 | ||
| 温度 |
| |||
| 运行（环境） | °C | +10 to +50 | ||
| 贮存 | °C | -20 to +75 | ||
| 无电子设备，烘烤 | °C | 350 | ||
| 带电子元件，在法兰处烘烤 | °C | 70 | ||
| 供应 |
| |||
| 电压 | V (dc) | 14.5 to 36 | ||
| 消耗， | W | <2 | ||
| 输出信号模拟 |
| |||
| 输出信号 | V | 0 to 10.6 | ||
| 测量范围 | V | 0.66 to 10 | ||
| 电压与压强之间的关系 | volts per decade | 1.333 | ||
| 连接器 | FCC 68, female, 8 pin (shielded) | |||
| 电缆长度，（模拟） | m (ft.) | 100 (330) | ||
| 暴露于真空的材料 | Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti | |||
| 内部容积 | cm³ (in.³) | 21 (1.28) | ||
| 重量，接近 | g | 500 | ||
| 保护类型 | IP40 | |||
| DeviceNet™ |
| |||
| 设备类型 | generic | |||
| 显示对等网络传讯 | no | |||
| I / O 对等传讯 | no | |||
| 配置一致性值 | no | |||
| 默认节点恢复 | no | |||
| 波特率 | kBaud | 125 / 250 / 500 | ||
| 主板 / 扫描器 | no | |||
| I / O 从属传讯： 位触发 | yes | |||
| I / O 从属传讯： 轮询 | yes | |||
| I / O 从属传讯： 周期 | yes | |||
| I / O 从属传讯： 状态改变 (COS) | yes | |||
| DeviceNet™ 电源 | V (dc) | 11 to 25 | ||
| De, viceNet™ 连接器 | Phoenix Combicon, 5 pin | |||
| Profibus DP |
| |||
| 支持的波特率（自动检测） | kBaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500 | ||
| 扩展的用户参数数据 | byte | 5 | ||
| 配置： 输入输出数据数量 | 2 | |||
| 同步模式和冻结模式 | Yes | |||
| Profibus 的连接器 | D-sub, 9 pin | |||
