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● 全数字控制,匹配精度高,匹配时间短
● 采用真空电容,可靠性高,使用寿命长
● 结构紧凑,体积小,安装便捷
● 超宽匹配范围,可定制适配任意负载
● 具有手动/自动匹配功能
● 具有保持和预置设定功能
● 具有通讯功能,可独立连接上位机实时显示负载状态
● 可定制化输出接口
技术指标 | 控制电压:AC220V±10% |
传输功率:0.5~5kW | |
频率:2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | |
匹配时间:端对端<5s,预设点到匹配点<0.5~3s | |
驻波:<1.2 | |
阻抗实部:5~200Ω | |
阻抗虚部:+200~-200j | |
射频输出电压:4000Vpeak | |
射频输出电流:25~40Arms | |
输入接口:N型 | |
输出接口:铜排或L29 | |
注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。 |