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RMC系列匹配器

型号

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电源
四川英杰电气股份有限公司成立于1996年,是专业的工业电源设计及制造企业,于2020年2月13日在深交所创业板上市,代码:300820。公司是国家企业、国家知识产权优势企业、国家专精特新“小巨人”企业、四川省百家优秀民营企业。公司位于“中国重大技术装备制造业基地”——四川省德阳市,占地80余亩。二十多年来,公司始终以自主研发、持续创新为核心,专注于以功率控制电源、特种电源为代表的工业电源设备的研发制造,产品广泛应用于石油、化工、冶金、机械、建材等传统行业以及光伏、核电、半导体、环保等新兴行业。

详细信息

● 全数字控制,匹配精度高,匹配时间短
● 采用真空电容,可靠性高,使用寿命长
● 结构紧凑,体积小,安装便捷
● 超宽匹配范围,可定制适配任意负载
● 具有手动/自动匹配功能
● 具有保持和预置设定功能
● 具有通讯功能,可独立连接上位机实时显示负载状态

输入

控制电压:AC230V±10% 或 DC24V

输入接口:N型、HN、7/16

频率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

传输功率:1.5kW~6kW

射频输出电压:4000Vpeak

射频输出电流:25Arms~120Arms

输出

输出接口:7/16、B20N、铜排, 其他规格可定制

 

性能指标

匹配时间:A系:端对端<5s ,预设点到匹配点 1s~3s
C系:端对端<3s ,预设点到匹配点 0.3s~2s

驻波:A系:<1.2 C系:<1.1

阻抗实部:1Ω~200Ω

阻抗虚部:+200j~-200j

负载类型:IPC 或CCP

外形尺寸:根据客户要求定制

注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。

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