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MSB系列中频溅射电源
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● 机架式安装方式
● 快速的电弧响应,响应时间<100ns
● 低能量储存,<0.5mJ/kW
● 采用多相交错PFC技术,功率因数高达0.95
● 输出模式多样,可实现连续、断续模式可选择
● 逆变回路采用全软开关技术,采用第三代半导体SiC作功率器件,效率优异
输入 | 输入电压:3AC380V、50/60Hz | 功率等级:20kW |
输出路数:2路 |
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输出 | 输出电流:50A*2 | 输出电压:600V*2 |
技术指标 | 功率因数:0.95 | 转换效率:94% 额定状态下±0.5% |
调节精度:±0.5% | 电弧响应时间:<100ns | |
尺寸:4U | 通讯:标配RS485/RS232(可选配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT) | |
注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。 |