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MSD系列溅射电源
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● 机架式安装方式
● 快速的电弧响应,响应时间<100ns
● 底能量储存,<1mJ/kW
● 紧凑的安装结构,3U标准机箱
● 中/英文显示界面,操作便捷
● 精密的控制
● 宽范围的输出
● 完善保护功能
输入 | 输入电压:3ΦAC380V±10% |
功率等级:20kW、30 kW 输入电源频率:50Hz/60Hz | |
输出 | 输出电压:800V |
输出电流:50A、75A | |
输出电流纹波:≤3% rms | |
输出电压纹波:≤2% rms | |
技术指标 | 点火电压:1000V/1200V可选 |
转换效率:95% | |
电弧关断时间:<100ns | |
通讯接口:标配RS485/RS232(可选配Profibus、ProfiNet、DeviceNET、EtherCAT) | |
尺寸(H*W*D)mm:132*482*560:176*482*700 | |
冷却方式:风冷 | |
注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。 |