INFICON PCG400和PCG410型复合皮拉尼与电容膜片技术用于从5X10-4至1500毫巴(3.8X10-4至1125乇)精确度和可重复的压强测量。与对流增强型皮拉尼不同,PCG可任意方向安装,便于灵活地添加探头。
特点:
■任意方向安装
■放空快速响应,缩短周期时间
■快速与可靠的读值,无需大气压调节
■单一对数/线性模拟输出讯号
■易于工艺集成
■小型结构,节省有价值的工艺空间
应用:
■自锁
■前级压强监测
■真空系统中的安全电路
■在中真空和粗真空范围内一般测量与控制
■控制高真空电离真空计
CDG采用直接测量单位面积力的原理,避免了过程时间的延迟。这个精度与响应时间的改进消除了在抽空和放空过程中的过冲现象。PCG装备有INFICON的皮拉尼技术,在传感器的整个测量范围内产生优异的响应时间特性,提高产量和生产率。