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Best tools 匀胶显影一体机 SC100D

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电子测量设备
北京燕京电子有限公司成立于1988年,注册资金2124万元,公司位于北京城东北部酒仙桥的中关村电子城科技园区内,建筑面积2000多平方米,地理位置*,交通便利。公司成立29年以来,燕京电子一贯秉承"以科技为先导,以服务为根本"的宗旨,为科研院所和生产企业提供的仪器设备及解决方案,以其良好的企业形象和品牌价值,发展成了业内口碑好的仪器设备服务商之一。 燕京电子一直以"科技"的姿态,将的仪器、技术和解决方案引入国内,并依托于公司强大的技术力量,为客户创造价值,帮助客户成功。目前,公司已经形成多个产品系列,如电子测量仪器、表面物性分析仪器、生命科 学及化学分析仪器、等离子表面处理设备等;产品应用领域包括物理学、光学、材料科学、纳米技术、环境及食品安全等领域;客户覆盖了全国各科研机构、大 学实验室和企业研发机构,与他们建立了长期的合作关系。 燕京电子坚持以客户为导向,强化服务意识,提高服务质量。公司设有市场部和销售部,拥有专业的技术支持团队和商务操作团队,为客户提供专业化的售前、售中、售后服务,地节约客户的资金成本和时间成本,与客户共同发展。公司设有独立测试演示中心,引进了等离子表面处理设备、锁相放大器,信号发生器等样机,为客户提供样机操作演示,样品测试和产品代工服务,满足客户的需求。 北京燕京电子有限公司期待与您的真诚合作!

详细信息

Best tools 匀胶显影一体机 SC100D


图片

 

简介


SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。

SC100DSC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。

SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制,7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用,可进行程控操作,具有优异的性价比。


规格参数


项目

参数

基板直径

8英寸

转速

0~10000RPM可调

转速控制精度

1RPM

加速度

10-50000RPM/S(空载)

程序

可编程100组100步程序

运转时长

3000S

时间设置精度

0.1S

显示

7全彩触摸屏

机体材料

HDPE内腔,SUS外壳,耐溶剂PC透明盖

 

 

功能图解


 

 

 SC100D 外形尺寸

应用系统


PDMS芯片制作

MEMS器件加工

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