- ¥420000≥1 台
参考价：
起订量：
上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10
- 型号
该企业相似产品
德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门
伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为国际真空品牌代理商，负责在中国地区的销售和维修服务，使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。
详细信息
上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 10, 宽束离子源,小型号的离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.
离子束流: >10 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝, 流量 (Typical flow): 1-5 sccm.
加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计.
伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数：
离子源型号 | 离子源 KDC 10 |
Discharge | DC 热离子 |
离子束流 | >10 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 1 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 1-5 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 11.5 cm |
直径 | 4 cm |
中和器 | 灯丝 |
伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 10 应用领域：
1. 离子清洗, 显微镜抛光 IBP
2. 溅镀和蒸发镀膜 PC
3. 辅助镀膜(光学镀膜) IBAD
4. 表面改性, 激活 SM
5. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD
6. 离子蚀刻 IBE
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生
