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上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75
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德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门
伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为国际真空品牌代理商，负责在中国地区的销售和维修服务，使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。
详细信息
KRI 考夫曼离子源 KDC 75
上海伯东代理美国进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 75:紧凑栅极离子源,离子束直径 14 cm ,可安装在 8“CF法兰. 适用于中小型腔内, 考夫曼离子源 KDC 75 包含2个阴极灯丝, 其中一个作为备用,KDC 75 提供紧密聚焦的电子束特别适合溅射镀膜. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 250 mA.
KRI 考夫曼离子源 KDC 75 技术参数
型号 | KDC 75 / KDC 75L(低电流输出) |
供电 | DC magnetic confinement |
- 阴极灯丝 | 2 |
- 阳极电压 | 0-100V DC |
电子束 | OptiBeam™ |
- 栅极 | 专用, 自对准 |
-栅极直径 | 7.5 cm |
中和器 | 灯丝 |
电源控制 | KSC 1212 或 KSC 1202 |
配置 | - |
- 阴极中和器 | Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000 |
- 安装 | 移动或快速法兰 |
- 高度 | 7.9' |
- 直径 | 5.5' |
- 离子束 | 聚焦 |
-加工材料 | 金属 |
-工艺气体 | 惰性 |
-安装距离 | 6-24” |
- 自动控制 | 控制4种气体 |
* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架
KRI 考夫曼离子源 KDC 75 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE
客户案例: 超高真空离子刻蚀机 IBE, 真空度 5E-10 torr, 系统配置
美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75
若您需要进一步的了解考夫曼离子源, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生
